受託成膜サービス

Coating / Vaper Deposition

『真空・大気圧』ともに多彩な工法で最適なメソッドで提案
有機・無機(金属、化合物、酸化物、窒化物)の膜を、膜厚1nm~10μm の緻密で高品質に成膜が可能!

低温(室温)DLCコーティング、低温(室温)ALDコーティング、エレクトロクロミズムを活用した加飾コーティング、表面改質・品質向上・長寿命等の表面処理コーティングはお任せください。
高周波プラズマで水素イオンを生成し、それを高電圧直流パルスで基材に引き付け、原料ガス(CxHy)と基材表面で反応させることにより、低温で密着性の良い高品質DLC成膜が可能

還元/酸化ガスをプラズマで励起することにより、ALDでは難しいと言われている低温での高品質な成膜が可能!

エレクトロクロミズムを活用し、材料や部品だけでなく民生品等へも、発光色を可変可能な加飾膜(=ユーザーの好きな色へ変える)を成膜可能

低温DLC及び低温ALDの紹介

高周波プラズマ、D C光圧パルス方式により生成されるコーティング膜は、現在ハードディスク産業、精密金型産業、コピー機、自動車産業などの分野で急速に採用されており、今後、光学部品や樹脂材料へのコーティング分野への展開が期待されています。

高周波励起DLC低温成膜

グラファイトから DLC まで膜質を連続制御

  • ・ダイヤモンド的性質(透明 ・高硬度 ・絶縁性)~グラファイト的性質(黒色・軟らかい・導電性)まで制御が可能のため、要望に合わせた成膜が可能!

高い光透過率の透明DLC膜

  • ・無色透明なDLC膜により、製品の外見を損なうこともありません。例えば、医療分野では差し歯等のセラミック素材を強化、飲料品分野ではPETボトルやガラス瓶等への品質劣化防止、など製品のデザインに影響を与えず、高機能かつ高密着でコーティングが可能です。

ワーク形状や材質を問わず成膜可能

  • ・加熱源をもたないため低温での成膜が可能
  • ・ワークの設置方向に制限なし

超精密・超高精度・長寿命!

  • ・低温(室温)かつ薄膜でのDLC成膜が可能なため、超精密金型などに熱による膨張や変形、塗膜の膜厚を気にする必要がありません。複雑形状にも影響を与えず、高機能かつ高密着でコーティングが可能です。
高周波励起DLC低温成膜装置

低温DLCコーティングの効果

電極/電極保護材
(グラファイト膜)

Li電池用集電極の高被覆性および高導電性の向上。薄くフレキシブルな素材や多孔質素材にも製品の機能を損なわない薄くやわらかい成膜が可能。グラファイトの特性である高導電性により電気伝導率を大幅に向上。

金型用離型膜
(DLC膜)

高離型性および高密着性を向上。とくに接着性樹脂に対し優れた離型効果や再付着を防止し、良好な成形や生産性のアップ、メンテナンス工数低減等に有効。

耐摩耗コーティング
(DLC膜)

エンジンやサスペンション等自動車部品や金属部品、医療用品へのDLC成膜により耐久性を向上

低摩擦コーティング
(グラファイト膜)

フィルムや樹脂製品への成膜により、摩擦低減効果付与や構造補強など

低温ALD成膜

医療分野の樹脂製品への活用

  • ・カテーテル、シリンジ等へ高密着性SiO2を成膜(反凝固膜)可能
  • ・インプラントへの高密着性TiO2成膜(細胞接着膜)可能
  • ・内視鏡中のAg鏡面への硫化抑制Nb3O5成膜(腐食抑制膜)可能

磁性材料や電池用粉体への活用

  • ・10nm程度の粉体にも保護膜形成可能
  • ・バレル機能により均一に成膜が可能

低温ALDコーティングの効果

樹脂用ガスバリア膜
(SiO2, Al2O3)

・アルコール飲料の封入:ビール、ワインの軽量化・ロングライフ化
・医薬・化粧品封入:容器のコスト低減 、酸アルカリ封入を可能
など

医療用機能膜
(SiO2, TiO2)

・樹脂製カテーテル、シリンジ:反凝固膜により樹脂の微細組織によるタンパク質(血液等)凝固を抑制
・インプラント:細胞接着膜により耐久性を上げつつ、細胞の定着性を向上
・内視鏡中のAg鏡面:腐食抑制膜により硫黄成分に対する保護が可能
など

全個体電池電解質保護膜

・硫化物系:粉体保護膜形成によりH2Sの発生を抑制
・酸化物系:焼結時の電解質結晶性向上
・正極、負極への機能付加
など

磁性材料保護膜

・モーター用コア:酸化防止
・インダクタ用コア:透磁率増
など

加飾膜・可変色膜成膜のご紹介

エレクトロクロミズム

エレクトロクロミック技術による調光や可変色が可能

  • ・電気化学的酸化還元により色が変わる「エレクトロミック材料」の活用
  • ・エレクトロクロミズムを用いた次世代の表示デバイス
  • ・多彩な色調の変化が可能

新しい生活スタイルの提案

  • ・ネイルチップや鞄等ファッション小物やインテリア小物のカラーやデザイン変更
  • ・ガラス面への調光機能や遮光機能、車の防眩ミラー等の機能をもっと身近に
  • ・自宅で簡単に色やデザインの変更が可能
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加飾膜・可変色膜コーティングの効果

可変色膜

エレクトロクロミック技術により、ネイルチップやバック等のファッション小物、ボトルやカッブ等生活小物やインテリア小物等を可変色可能なデバイスを搭載

金属光沢膜

・立体物や樹脂表面に、鮮やかな発色やグラデーションで高密着成膜可能

FAQ - よくあるご質問 -

どのような成膜・膜種が可能ですか?

一般的な「金属膜」や「合金膜」はもとより、反射や遮光、透明電極等多様な「酸化膜・窒化膜」の成膜が可能です。
またDLC膜(Diamond-Like Carbon)やグラファイトのような「炭素膜」も得意としており、お客様のご要望に合わせた高硬質・低摩擦係数・高離型・耐摩耗等の高機能成膜が可能です。

どのようなワーク(素材)に成膜できますか?

主に次の基材になります。
「樹脂やフィルム」等の高温に弱い材質にも低温かつ素材の性能を損なわない成膜が可能です。
「金属・ガラス」等にも均一で密着性の高い成膜が可能です。
「粉体・極小部品」等、様々な粒径や形状へも均一に薄く成膜が可能です。

主な成膜用途を教えてください

一般的な成膜も可能ですが、次のような最先端分野を得意としております。
「全個体電池・リチウムイオン電池・燃料電池」等の新素材・新材料および新エネルギー分野へ高機能成膜が可能です。
「医療用樹脂カテーテル・バイアル瓶・インプラント」等の医療器具に生体親和膜やガスバリアが可能です。

どのくらいの膜厚が可能ですか?

「1nm(ナノ)」でも緻密で均質かつ均一な超薄膜成膜も可能です。
粉体であればφ100nmへも均一コーティングが可能です。
膜厚につきましてはご希望に合わせた成膜工法をご提案可能です。

受託成膜のロット数を教えてください

小ロットから量産まで対応が可能です。
装置導入コスト削減や研究開発の試作作製等にご協力させていただいております。
コーティングに精通した技術者が成膜工法から膜種の選定や調整までご提案いたしますので、お気軽にご要望をお聞かせください。

FAQで解決しなかった場合は?

どんな内容でもアドバイスや対応可能であることが多いです。
まずはお気軽にご相談ください。

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